什么是潔凈室檢測(cè)？為什么要做潔凈室檢測(cè)？

潔凈室是指去除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，并控制室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲和振動(dòng)、照明和靜電. 在一定的需求范圍內(nèi)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外部空氣狀況如何變化，內(nèi)部都可以保持原先設(shè)定的清潔度、溫度、濕度和壓力等特性。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，

粒徑小于0.3微米的顆粒數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前芯片級(jí)生產(chǎn)加工采用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)要高，這樣高的標(biāo)準(zhǔn)主要用在一些更高級(jí)別芯片的生產(chǎn)上。0.5uM及以下的粉塵顆粒數(shù)嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)1K級(jí)。

無(wú)塵室狀態(tài)分為以下三種

空置狀態(tài)：已建成并可供使用的潔凈室(設(shè)施)。它具有所有相關(guān)的服務(wù)和功能。但是，設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作員操作的設(shè)備。

靜態(tài)：功能齊全、設(shè)置正確、安裝合理、可按設(shè)置使用或在用的潔凈室(設(shè)施)，但設(shè)施內(nèi)無(wú)操作人員。

動(dòng)態(tài)：在正常使用的潔凈室內(nèi)，服務(wù)功能齊全，配備設(shè)備和人員;如果需要，可以進(jìn)行正常工作。

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